德国pfeiffer分子泵电源常用指南

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广州潽拓光电——普发质谱仪分子泵***Splitflow310-3P

PFEIFFER SPLITFlow 310 3p 德国普发SPLITFlow 310 -3p 抽速：210 L/S 转速：60000 r/min SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。泵系统包括一个壳体(1)、一个偏心地安装的转子(2)、在离心力和弹力作用下径向移动的叶片(3)以及入口和出口(4)。 分子泵泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。 普发SPLITFlow 310 3p涡轮分子泵 对氢为102～104； 对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。

设备运行时要注意***，

-定期对冷却水系统进行维护，

-以防止水垢的大量凝结，

-影响冷却效果。

-真空腔体内应保持清洁，经常清除杂物。

plitFlow系列的涡轮分子泵可以用一台泵同时对质谱系统的两个或三个腔体进行抽气。

分子泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。

压缩比除与泵的级数和转速有关外，现货SplitFlow310，还与气体种类有关。

分子量大的气体有高的压缩比。

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PFEIFFER Hipace系列分子泵使用领域

1.真空冶金（真空焊接、真空烧结、真空合金、真空炉等）

2.研究设施（核粒子物理学、核聚变研究、激光应用等）

3.分析仪器（质谱分析法、显微镜等）

4.半导体行业（电子组件、集成电路、反射、滤光镜镀膜等）

5.真空镀膜技术（表面保护、装饰土层、显示技术、屏幕等）

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广州潽拓光电科技有限公司现货德国普发PFEIFFER TMH262XS分子泵以及***维修PFEIFFER全系列分子泵

德国普发PFEIFFER TMH262XS涡轮分子泵维修展示：

PFEIFFER TMH262XS普发涡轮分子泵进气法兰口DN 100CF-F，出气法兰口ISO-KF，抽速可达到210 L/s，转速为60000rpm，对应的控制器为：Pfeiffer TC100等