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广州潽拓光电——Pfeiffer Hipace80分子泵

分子泵应用一：Hipace 80，Hipace 400 用于分子束外延 MBE，主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。

分子泵应用二：Hipace 80，Hipace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备

涡轮分子泵 Hipace 80 技术参数：分子泵型号接口 DN抽速 l/s压缩比高启动压强mbar极限压力全转速气体流量hPa l/s启动时间重量进气口排气口氮气

N2氦气He氢气 H2氮气

N2氮气N2hPa氮气N2minkgHiPace 806316675848gt; 1X101122lt; 1X10–71.31.752.4

分子泵应用：

分析仪器：电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析

半导体：PVD inspection bonding MBE load-locks

工业：***技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造

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广州潽拓光电----真空泵

真空泵是真***装机的核心部件，对真空泵的维护***关系着真***装机的使用安全和使用寿命，所以对真空泵的***一定要做好，以下是广州潽拓光电科技有限公司多年来总结出来的经验：??

1，必须保持真空泵油在每次使用时是清晰光亮的，真空泵油不能出现浑浊和起泡沫等现象，潽拓普发分子泵维修公司，检查真空泵油静止沉淀时要有乳白色物质，如果有就说明有外来物质进入真空泵油，那么就需要更换新的真空泵油。??

2，每星期检查一次油位和油的颜色状况，如果油位低于标记，潽拓普发分子泵维修时间，要添加油之后再使用，如果油位超过了大标记，说明有外部物质进入，检查油质，根据情况放掉部分油，或全部更换新真空泵油，必要时要做更换气镇阀处理。??

3，每年要更换一次排气过滤器，也可以用压缩空气进行清洗后再使用。?

?4，每隔半年需要清洗一次真空泵内的污垢和灰尘，对风扇轮、通风格栅、冷却翅片以及风扇引擎罩进行清洗，用压缩空气清洗。??

5，对于真空泵油及时进行更换，每月都要进行一次对排气过滤器与进气过滤器进行的检查

VARIAN瓦里安分子泵在高真空和超真空真空应用中的几点优势

1、陶瓷轴承，脂润滑，无需维护，两个轴承都在排气口端，确保了清洁的真空环境。360度任意角度安装，长寿命，平均无故障运行时间

长达12000小时。

2、转子叶片一次加工完成，不仅自重轻，而且多大减少了叶子内的应力。因此机械强度高，转子寿命长。

3、有用专利技术的Macro Torr拖动级，使得瓦里安分子泵对气体，特别是小分子气体，油很高的压缩比

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特点

(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；

(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；

(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；

(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；

(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；

(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。

⑼真空泵的价格、运转及维修费用。

机械安装

⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、***。

⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。

⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，潽拓普发分子泵维修地址，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。从科学仪器到工业制程的多种应用场合，均已证明这些真空计坚固可靠。（焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。）

⑷在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。

⑸按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。

⑹真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防真空泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）

⑺对于有冷却水的真空泵，潽拓普发分子泵维修，按规定接通冷却水。

⑻如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。

⑼当真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。

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